1. Le système de vide : la pompe mécanique, pompe de palette rotatoire, enracine la pompe, pompe moléculaire, cryogénique
pompez, avec le piège froid système d'extraction de vitesse de pompage de pompe de diffusion d'huile de vide poussé du grand,
pompe à vide exempte d'huile facultative de pompe de support, tuyaux d'acier inoxydables et valves.
2. Le procédé de protection : le 1 ensemble - six ensembles de canon électronique magnétique de haute puissance du ° e du débattement 270 et
creuset de point multiple, source d'ions aidée de hall de configuration de système de dépôt et résistance de
source d'évaporation.
3. Gonflage du système : débimètre à gaz et contrôle automatiques d'instrument d'affichage d'écoulement.
4. Système de contrôle : l'écran tactile de couleur, le contrôle de PLC, automatique et manuel en peuvent être convertis à
temps. L'affichage en temps réel a détaillé les paramètres, contrôle complètement automatique du processus de fabrication entier,
paramètres de processus de stockage automatique. Les composants électriques principaux sont des marques célèbres comme
Schneider.
5. Système de sûreté : installation du dispositif d'alarme optique acoustique de l'anomalie de l'eau, de l'électricité et de gaz, et
mise en oeuvre de la procédure correspondante de protection.
6. Système de chauffage et de cuisson : adoptez un corps de chauffage de tube d'acier inoxydable, la température de substrat peut
atteignez 350 degrés, le mètre de contrôle de température adopte l'instrument conducteur japonais,
la précision de contrôle de température est plus ou moins 1 degré Celsius.
7. Contrôle d'épaisseur de film : système de contrôle d'épaisseur de film de cristal de quartz, qui peut commander
le taux d'évaporation du canon électronique, commandent exactement l'épaisseur de film, et commutent automatiquement facilement
et automatiquement.
8. Canon électronique et la source d'évaporation : la source d'énergie de canon électronique adopte la fréquence de puissance
hausse de tension, circuits de commande numérique, étincelant avec la protection automatique à haute pression, restauration et
la fonction régulière de poutre, à télécommande, peut converser avec le mètre d'épaisseur de cristal de quartz, enduisant le processus
contrôle automatique.
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